作為一家領(lǐng)軍的金剛石薄膜產(chǎn)品、設(shè)備及服務(wù)供應(yīng)商，美國SP3公司近日宣布其CVD（化學(xué)氣相沉積）加工能力得以進(jìn)一步拓展，現(xiàn)可提供從表面粗糙度低于10納米的超光滑納米晶金剛石到表面粗糙度達(dá)10微米以上的可控微米晶金剛石產(chǎn)品。此外，SP3公司的Model 650化學(xué)氣相沉積生長設(shè)備還可滿足部分企業(yè)自行生產(chǎn)金剛石涂層產(chǎn)品的需求。  

    SP3公司的超光滑金剛石可理想地應(yīng)用在耐磨表面包括密封及軸承等場合，微米晶金剛石薄膜則非常適合應(yīng)用在化學(xué)機(jī)械拋光領(lǐng)域。這兩種CVD金剛石膜產(chǎn)品均適用在條件惡劣以及對環(huán)境有苛刻要求的場合，它們從中表現(xiàn)出的高硬度、低摩擦系數(shù)、高耐磨性以及出色熱導(dǎo)率超過其他任何材料。 

    “SP3公司向市場提供獨(dú)特的解決方案，這得益于我們制造可以滿足這些應(yīng)用要求的沉積設(shè)備”，SP3金剛石技術(shù)部總裁兼首席運(yùn)營官德韋恩艾達(dá)拉如是說，“這樣客戶就可以利用我們的涂層技術(shù)優(yōu)勢，或者購買我們的沉積設(shè)備，在他們的生產(chǎn)工序中生長超光滑或者粗糙度可控的金剛石涂層。我們在交付沉積設(shè)備時(shí)提供的經(jīng)驗(yàn)意味著客戶通常會得到現(xiàn)有的技術(shù)訣竅，這將使他們生長出的金剛石材料的性能特點(diǎn)能夠滿足特定需求。” 

    利用SP3公司化學(xué)氣相沉積設(shè)備生長出的超光滑金剛石可理想用于對材料具有苛刻要求的多種耐磨表面比如接觸以及非接觸的涂層密封以及水系統(tǒng)。  

    當(dāng)前，晶圓制造業(yè)正向著22納米以及高腐蝕磨料（包括銅和鎢）加工環(huán)境下的更小幾何尺寸方向發(fā)展，而粗糙度可控的金剛石則正在發(fā)展為一種用于化學(xué)機(jī)械拋光的新型材料。  

    經(jīng)過金剛石涂層的表面能夠更好地承受上述兩類應(yīng)用中的嚴(yán)酷的化學(xué)條件，無論是泥漿泵還是熱水環(huán)境，無論是存在較差的潤滑還是帶有銅或鎢的腐蝕性化學(xué)機(jī)械拋光環(huán)境。在這些場合下，金剛石材料極高的硬度及抗化學(xué)腐蝕性大大延長了產(chǎn)品的使用壽命。  

    通過使用SP3公司工藝來精確控制金剛石生長以及薄膜特性的能力可實(shí)現(xiàn)在碳化硅等襯底上生長特定晶粒尺寸及晶向的金剛石材料，由此降低了接觸表面的摩擦熱，進(jìn)一步延長使用壽命并降低失效。該薄膜還可以在硬質(zhì)合金、硅、碳化鎢以及石墨等許多其它襯底材料上沉積生長。